一、MXE 快速高温计
用于快速工艺过程精确控制的高速测温仪器
Sekidenko MXE 高温计兼具高速度和高精度，实现对苛刻应用条件下的精确、非接触、可重复地测量和控制。 其高速采样率（最高 10 kHz）性能适合具有移动被测物体的工艺过程，例如旋转托盘。 它还十分适合快速变化的工艺过程，包括激光加工或快速退火。 在容易集成和灵活控制方面，MXE 单元设计紧凑，并支持一系列 I/O 协议。
| 优势 | 特点 |
|
|
* 增强工艺过程监控 * 灵活的可配置平台 * 改善温度测量的准确度和重复性 * 增强均匀性 * 提高生产率、产额和产量 * 减少开发时间 * 丰富的测量功能 * 灵活的可配置平台 |
* 实时非接触式温度与辐射率的测量 * 适合于广泛应用条件的快速测温 * 可选择的温度及反射测量的波长 * EtherCAT®、USB 和 RS-232 输出选项 |
二、温度控制仪器
Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纤温度计&发射率计
Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纤温度计 (OFT) 为 RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV 固化以及其它半导体工艺提供了业界领先的非接触性温度测量性能。OR4000T 型号向要求最苛刻的半导体应用支持高达 2kHz 的读取率提供了多通道的功能。OR4000E 型号提供了与 OR4000T 一样的高速性能，还增添了实时发射率补偿功能。两个型号均设计为模块，能够快速调整以满足各个工艺应用的特殊要求。
| 优势 | 特点 |
|
|
* 提高温度测量精度 * 增强可重复性，将变化减至最少 * 提高生产力、良品率和吞吐量 * 提高多种封闭空间和基片材料的稳定性及可靠性 |
* 在原位、非接触性温度测量 * 实时发射率测量和补偿 * 行业领先的温度和发射率读取率 * 高度灵活、基于模块的平台架构 * 完整的输入输出和外部触发/同步套件 |
三、温度控制仪器
Sekidenko OR400M精密光学红外测温仪
先进能源的OR400M光学测温仪将Sekidenko产品系列的灵活性扩展到中红外波长范围，从2.3μm到5.2μm。 OR400M为薄膜太阳能，玻璃和先进半导体工艺提供单通道温度测量功能。 OR400M支持RS-232和模拟数据接口。 由于其紧凑的设计，OR400M可以轻松集成，以满足许多工艺应用的独特需求。
优势：
1、薄膜光伏制造步骤的现场测量
2、提高基材均匀性
3、专为太阳能薄膜和玻璃工艺而设计
4、综合测量
5、高速固态探测器
6、可配置的过滤器，检测器和光学传输系统
四、温度控制仪器
Sekidenko OR400T 光纤温度计
Advanced Energy 的 OR400T 光纤温度计 (OFT) 拓展了 OFT 产品系列的灵活性，向多种高用量的半导体应用提供了具有成本竞争力非接触性的解决方案，其中包括电浆辅助化学气相沈积(PECVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)、物理气相沉积(PVD)和金属刻蚀。由于 OR400T 具有紧凑型设计，因此能够轻松整合以满足多种工艺应用的特殊要求。
| 优势 | 特点 |
|
|
* 提高温度测量精度 * 提高晶圆均匀度 * 提供具有成本竞争力，可替代热电偶温度测量的方案 * 提高生产力、良品率和吞吐量 |
* 紧凑、单通道设计 * 在原位、非接触性温度测量 * 支持 RS-232 和模拟数据界面，每秒最多达20个温度读数 * 更好的低温性能 |
