Advanced Energy 的加速离子束源、电感耦合等离子源和大气源技术为您的进阶制程提供了成熟而现代化的设计。其成果是无缝整合、卓越的可靠性和进阶功能性，推动、简化您的制程工艺，使之更上一层楼。
一、Litmas® RPS 1501和3001远程等离子源平台
Advanced Energy Litmas® RPS 是唯一采用高传导、低表面面积结构的完全整合远程感应式等离子源和供电系统。非常适合为晶圆预清洗、光致抗蚀剂剥离和原子层沉积 (ALD) 等工艺提供反应气体。此外，其大功率密度和高传导性使其成为后处理废气治理的理想平台。Litmas RPS 可在不到3毫秒的时间内提供高达3 kW 的稳定射频功率，从而能够实现90 nm 和300 nm制程的快速变化。
| 优势 | 特点 |
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·减少了对易损设备结构的电荷损伤 ·高反应活性物焊剂生成 ·广泛的工艺化学范围 ·快速匹配、稳定的供电 ·持有成本降低 ·增强终端用户工艺开发和输出量 |
·整合式电源、匹配和等离子腔室 ·获得专利的 LitmasMatch™ 固态供电拓扑结构 ·即插即用的安装 ·极其广泛的匹配范围 ·耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料 ·尺寸小 ·最高的等离子功率密度 ·源与源之间的变化极小 |
二、Litmas® RPS 前极管道 PFC 治理
Advanced Energy Litmas® RPS 系统是一种前极管道治理解决方案，可减少半导体制程的全球变暖影响。这个高性能的线性感应式等离子源完全整合了2 MHz 电源和匹配电路。其在 CVD、蚀刻和灰化应用中的阻抗使用范围很广。
| 优势 | 特点 |
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·以很高的破坏效率，有效地治理对环境有害的 PFC 气体 ·降低了总治理成本 ·使前极管道的压力影响降至最低 ·最大的功率效率和工艺灵活性 ·在各种化学反应中始终如一的性能和可靠性 ·无缝整合，无工艺影响 |
·线性感应式等离子源和高端供电系统 ·紧凑的整合设计 ·用水少、耗电小（无需燃料） ·高传导性、抗氟、圆柱形陶瓷腔室 ·零 sub-fab 占地面积 |
三、Xstream® 远程等离子源
Advanced Energy 高效 Xstream® 远程等离子源平台产生来自稳定的原料气体的中性活性种，用于表面改性、腔室清洗、薄膜蚀刻以及等离子辅助沉积。安装在工艺腔室外的 Xstream 平台整合了远程等离子源、6 kW 或8 kW 的高效电源以及获得专利的固态主动式匹配网络。该网络在一个腔室清洗源上拥有最宽的商业化阻抗运行范围。Xstream 远程等离子源让工艺工程师拥有无与伦比的反应气体工艺灵活性，从而提高了系统吞吐量，优化了昂贵资源的使用。
| 优势 | 特点 |
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·优化昂贵资源的使用 ·提供最宽的商业化阻抗运行范围 ·可在各种化学反应下无缝运行，包括现有的 PFC/O2 就地腔室清洗方法 ·提高工艺性能、灵活性和吞吐量 ·能够对就地和远程 VCD 腔室清洗进行简化改进 ·利用之前获得专利的 AE 主动式匹配网络技术 |
·固态板上主动式匹配网络 ·完全整合式高效400 kHz 电源 ·可选的虚拟前面板 (VFP) 直观、即时、基于软件的用户界面 ·耗水量小 ·阳极硬化、细微粒、防腐金属源腔室 ·可测量对等离子的实际供电之高级监控电路 ·用于系统整合和监控的读回信号 |
