数字架构和业界领先的RF等离子控制
Advanced Energy PARAMOUNT®射频电源系统
1、以前所未有的功率输出精度优化薄膜均匀性和产量
2、实现更快，无缝的过程转换
3、提供先进的脉冲和脉冲同步
4、降低射频传输系统的复杂性
5、减少电弧引起的污染和损坏
3、帮助提高工具产量和产品良率
4、提高可靠性和拥有成本
Advanced Energy PARAMOUNT®射频电源系统
1、以前所未有的功率输出精度优化薄膜均匀性和产量
2、实现更快，无缝的过程转换
3、提供先进的脉冲和脉冲同步
4、降低射频传输系统的复杂性
5、减少电弧引起的污染和损坏
Advanced Energy NAVIGATOR®II数字匹配网络
1、速度匹配响应时间
3、帮助提高工具产量和产品良率
4、提高可靠性和拥有成本
