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Advanced Energy RF电源系统解析
来源:
时间:2017-08-15 09:41:32
浏览次数:
Advanced Energy这款半机架的3kW 的 Paramount ® 射频 (RF) 功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能,能够在 13.56MHz 固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下(电压驻波比 (VSWR) 超过3:1),为您带来出色的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步,Paramount 射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美,而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现(达到毫秒数量级),其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。
优点
特点
凭借卓越的功率输送精度,实现前所未有的薄膜均匀度与传送效能(throughput)的最优化
以更快的制程转换来支持新一代蚀刻与沉积制程
帮助实现无缝的制程转换
提高产量
实现投资回报最大化<
新一代测量系统能够在所有输出范围内(50欧姆和非50欧姆负载)对功率和阻抗进行极精确的测量
近乎瞬间的频率调谐(可选)
可选脉冲和同步脉冲的脉冲频率范围很宽广
可选的 HALO(高精确度、低输出)及弧管理系统
紧凑半机架型外观设计
Advanced Energy 通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术,在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。
优势
特点
更高的功率密度
更好的工艺灵活性
产量提高
持有成本降低
简化工艺工具整合
灵活的通信
简化的设计
真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式 (shoebox) 选择
宽带控制回路和可选的高重复率脉冲
业界领先的弧管理
符合监管要求
三、HFV ® 变频 (~2 MHz) 电源
Advanced Energy灵活的 HFV ® 电源主要用作200和300 mm 晶圆制程、平板显示器和 DVD 设备的等离子发生器,为离子化物理气相沉积 (IPVD)、CVD 和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源 的特点有数字合成变频输出和微处理器控制,输出功率电平为3、5和8 kW。此外,其输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制,以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。
优势
特点
提高了 run-to-run 准确性
具有通用性
提高了可靠性
增强了工艺灵活性
降低了持有成本
可定制的频率调谐参数
输出频率范围为1.765-2.165 MHz
3、5和8 kW 的输出功率电平
数字合成频率输出
微处理器控制
四、CESAR ® 射频发生器
Advanced Energy强大而多功能的 Cesar ® 平台可提供非常稳定的射频功率输送性能,以及一个多样化的模式选择,每种模式都具有一套独特的功能(2、4、13.56、27.12和40.68 MHz;0.3至5 kW;拥有多种用户界面和输入选择),从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。
高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化,从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单(可在该组件的多功能前面板上找到,并显示在一个大的液晶显示屏上)带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本最小化。
优点
功能
更长的制程正常运行时间
更高的操作简易性和灵活性
无需定制组件提前期的定制化性能
长期的使用简易性,节省成本
世界级的服务和支持
精簡的流线型设计
标准的平台包装
高效率——低发热量
200和400 VAC 的输入选择
两个模拟用户端口选择
RS-232、以太网、和 Profibus 通讯
多功能前面板
便利、全面的操作菜单
CEX(相位同步)操作模式
遵循 SEMI™(符合或超过标准)
五、HILIGHT™ 射频发生器(13.56MHz,600W)
Advanced Energy针对低功率、载行应用,HiLight 系列射频发生器小巧、轻便,拥有空冷式设计,专门设计为需要现场安装在非传统19英寸的机架型。
优点
特点
能通过载波或脉冲调制模式提高精确性和可靠性
波或脉冲模式提高了精度和可靠性
小巧的盒式设计
脉冲模式
模拟用户端口
紧凑,轻便的鞋盒设计
空气冷却
波形和脉冲模式
模拟用户端口
六、Integro™ 射频发生器
Advanced Energy经济型 Integro™ 射频发生器在很小的体积内结合了一个 13.56MHz、600W 的射频发生器和一个自动匹配网络。这节约了宝贵的空间并使得整合变得更容易。它支持的功能包括:脉冲模式、CEX 操作以及多种保护功能。
优点
功能
能降低运行成本
能简化整合
能有效利用宝贵的空间
低CoO
轻松整合
有效利用宝贵的空间
紧凑型盒式设计
可被整合进匹配网络
脉冲模式
CEX 操作模式
多种保护功能
模拟用户端口
七、Navigator ® 数字阻抗匹配网络
Advanced Energy多功能 Navigator® 匹配网络的先进技术能在多种负载阻抗下(从15W 至 30kW)进行快速、准确而可靠的匹配。该匹配网络配备了微处理器控制步进马达电路和用户可选数字调谐算法,使它能提供较传统模拟调谐法更高的一致性和精确性。这也使得它可以优化半导体、太阳能、FPD 以及 MEMs工艺流程(包括蚀刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔体清洗应用)的输送过程功率。一个可选的内部 Z'Scan® 射频传感器可提供对过程功率和阻抗的实时测量和分析,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。此外,可选的虚拟前面板 (VFP) 软件使您能够通过一台个人计算机来监视并控制匹配网络。
优势
特点
加强了工艺控制
最大限度地减小反射功率
加速反应时间
有助于提高工具吞吐量和产量
数码匹配平台
多种数码调谐算法
实时过程功率和阻抗测量与分析
整合式仪器
简化的设计
严格的测试
八、 Navio™ 数字网络匹配器
Advanced Energy已经扩大了数字网络匹配平台,将简易性和高稳定性融入了旗下市场上最实惠的网络匹配器中。Navio™ 网络匹配器可用于多功率和频率范围,利用我们成熟的专业技术力量,Navio™ 网络匹配器以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。根据您的具体需求,可选择标准配置或是自行配置。并附带 AE 射频电源,即插即用,利用虚拟面板 (VFP) 软件进行监测和控制。
优势
特点
提高生产力、增加产量、降低生产成本
根据您的系统需求,选择标准配置或自行配置
易于安装和操作
快速、精确和可重复的阻抗匹配
最佳的、可直接应用的功能,满足多种应用领域需求
丰富的配置选项,可获得更完美工艺
多功率和频率范围
用于实时工艺功率,以及阻抗测量和分析的虚拟面板 (VFP) 软件
九、GenCal ™
Advanced Energy GenCal™ 系统提供在等离子工艺行业常用的离散频率下业界领先的测量准确性,以及与 AE 获得研发大奖的等离子阻抗传感器所使用的相同的尖端混合动力传感器技术。这项经过优化的技术在有高谐波含量和噪声等离子产生信号的情况下,能够以目前其它功率测量仪器所无法实现的准确率进行测量。
优势
特点
快速检查电源和调谐器运行是否正常
对电源的功率波动进行警告
选择电源输入的设制点