随着其他着名的,历史悠久的热工仪表公司的整合,LumaSense现在能够为半导体行业提供完整系列的高性能温度工艺解决方案,这些解决方案对半导体资本设备至关重要。 我们的解决方案满足要求苛刻的半导体行业的最新设备要求,以帮助提高生产量和质量。
(一)IC产业
蚀刻,外延和沉积过程的温度解决方案
(二)复合半导体
MOCVD和MBE的温度解决方案。
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