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Advanced Energy亮相SEMICON China 2019 助力半导体等解决方案

来源: 时间:2019-03-22 17:03:50 浏览次数:

        Advanced Energy亮相SEMICON China 2019 助力半导体、用于温度测量的光学高温计等解决方案。Advanced Energy是面向新兴市场、可再生能源市场和 IT 市场的创新型电源和流体解决方案领域的全球领导者。Advanced Energy专注于高速增长的应用产品,包括太阳能电池、被动式太阳能建筑玻璃、太阳能并网逆变器、半导体、平板显示器、数据存储器以及其它先进应用工艺。

        Advanced Energy通过高精度的功率输出,频率调谐和多级脉冲实现高级等离子过程控制。为了制造尖端集成电路(IC),Advanced Energy部署了新的工艺和材料用于晶体管或存储器单元的创建。 特征尺寸和原子级精度的下降使极端过程控制变得至关重要。 新的器件架构(3D-NAND和Fin FET)推动了多图案化(双重和四重)需求 - 使创新的蚀刻和沉积工艺变得至关重要。


Advanced Energy

Advanced Energy亮相SEMICON China 2019


        Advanced Energy是关键蚀刻,沉积,检查,植入和退火工艺的电源输送和控制解决方案的市场领导者。Advanced Energy凭借平台架构和对创新的承诺,预测应用需求,并根据客户的具体要求快速设计产品和解决方案。

        Advanced Energy 的 Sekidenko 系列光纤温度计为等离子薄膜制造中的进阶温度控制提供了经证实的温度测量技术。借助我们的原位探针,您可获得芯片或腔体组件温度的实时测量结果,实现制程控制的优化。我们开创性的光纤温度测量技术促进了优秀之温度控制仪器的开发,这种仪器精确、可重复并且易于使用。凭借各种应用领域中多年的经验,交付了 RTP、CVD、PVD 和条带系统中数千套 OFT 系统,我们已成为先进非接触式温度测量领域中公认的领导者。

Advanced Energy

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