Advanced Energy这款半机架的3kW 的 Paramount^® 射频 (RF) 功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在 13.56MHz 固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下（电压驻波比 (VSWR) 超过3:1），为您带来出色的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步，Paramount 射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美，而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现（达到毫秒数量级），其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。

三、HFV^® 变频 (~2 MHz) 电源

        Advanced Energy灵活的 HFV^® 电源主要用作200和300 mm 晶圆制程、平板显示器和 DVD 设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积 (IPVD)、CVD 和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率电平为3、5和8 kW。此外，其输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。

四、CESAR^® 射频发生器

        Advanced Energy强大而多功能的 Cesar^® 平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。 

        高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。 

五、HILIGHT™ 射频发生器（13.56MHz,600W）

        Advanced Energy针对低功率、载行应用，HiLight 系列射频发生器小巧、轻便，拥有空冷式设计，专门设计为需要现场安装在非传统19英寸的机架型。

六、Integro™ 射频发生器

七、Navigator^® 数字阻抗匹配网络

八、Navio™ 数字网络匹配器

九、GenCal^™

       Advanced Energy GenCal™ 系统提供在等离子工艺行业常用的离散频率下业界领先的测量准确性，以及与 AE 获得研发大奖的等离子阻抗传感器所使用的相同的尖端混合动力传感器技术。这项经过优化的技术在有高谐波含量和噪声等离子产生信号的情况下，能够以目前其它功率测量仪器所无法实现的准确率进行测量。