AE 的脉冲产品系列具有各种功能,能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点,能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。
优势:
·功能广泛
·灵活的直流脉冲附件系列
·通过允许在更大功率下运行,提高吞吐量
·减少靶材污染
·提高 10-200kW 的功率
·提供 2-100kHz 的固定和可变频率
二、ASCENT® AP(先进脉冲)电源
前所未有的单/双极脉冲磁控溅射电源2013年,AE® 通过采用双极性脉冲直流技术为双极磁控溅射带来了新的技术革新,提供了前所未有的等离子体控制技术。Ascent AP电源在紧凑的单/双极磁控溅射方案中引入了额外的控制参数,使得功率输出更加优化。Ascent AP具有专利的脉冲技术,可以主动抑制电弧,其广泛的工作范围使得该电源可以应用于许多材料,拓展了制程的灵活性以及材料的不断创新。
优势:
·电介质膜和导电膜的精准溅射
·提供单磁控和双磁控配置
·增加制程控制的灵活性与创新性
·高性能的薄膜质量和产量
·镀膜重复性好,且满足多项定制要求
·更高功率等级,更少电弧损坏
·易于集成与控制
优势:
·确保现场可靠性达到最高
·高效地电弧管理以提高薄膜质量、生产效率、产量和利润
·简化用于以下应用场合的建设镀膜制程中电源集成
*太阳能
四、Pinnacle® 系列
业界公认的 Pinnacle® 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能,从而大大减少了工艺变化,提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。
优势:
·最低的运行和安装成本
·业界最快的弧反应时间
·可配置的弧反应参数
·最大的工艺效率
·精确的工艺控制
五、Pinnacle® Plus+
优势:
·更高的沉积率与产品率
·薄膜均匀性和品质一流
·成弧造成的基材损坏减少
·成本更低
·系统整合容易
·极佳的工艺灵活性和宽容度
·重复性能
·在过度曲线上运行稳定
·吞吐量更高
·便于监控
·无与伦比的系统灵活性
Advanced Energy 的 Pinnacle® 3000 直流电源提供最高的效率和功率因素,从而带来业界最低的运行和安装成本。 Pinnacle 工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。
优势:
·经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性
·最大的工艺效率——最低的运行和安装成本
·通用性——在溅射工艺和偏压应用上均表现出色
·快速、可配置的弧反应——弧损伤少
·精确的工艺控制
·多种显示/控制选择
·符合安全/辐射标准
七、Pinnacle® Diamond™
在工艺和偏压应用中,Pinnacle® Diamond™ 直流电源都能提供最高的效率和功率因素,从而带来业界最低的运行和安装成本。 Pinnacle 绝佳的工艺一致性和控制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大大减少了变化、提高了产量。
优势:
·经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性
·最大的工艺效率——最低的运行和安装成本
·通用性——在溅射工艺和偏压应用上均表现出色
·快速、可配置的弧反应——弧损伤少
·精确的工艺控制
·多种显示/控制选择
·符合安全/辐射标准
优势:
·超载内置保护
·可靠性和耐用性
·快速反应时间
·兼容性认证
九、MDX 系列1 kW 和1.5 kW
优势:
·精密调节功能
·提高产率
·减少靶材烧入时间
·高可靠性
·简单维护和置换
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